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事件：

公司发布2023 年半年度业绩报告。上半年公司实现营业收入10.04 亿元，同比增长91.83%；归母净利润1.25 亿元，同比增长15.22%；扣非净利润0.65 亿元，同比增长32.65%；基本每股收益0.98 元/股。

收入规模快速提升，受股权费用影响利润增速放缓受益于国内晶圆厂持续扩产带来的设备需求增加，公司在手订单充足，设备及时交付，上半年公司营业收入同比大幅增长。从盈利能力来看，公司毛利率较为稳定，净利率受股权费用支付影响而下滑明显，23H1 公司毛利率、净利率分别为49.43%、12.50%，同比分别变化2.67pct、7.87pct。从费用端来看，期间费用率从22H1 的36.78%提升至40.69%，主要原因系公司股份支付费用增加。分设备来看，PECVD 设备实现销售收入9.08 亿元，同比增长94.35%；HDPCVD 设备、应用于晶圆级三维集成领域的混合键合设备顺利通过客户端产业化验证，实现了首台的产业化应用，ALD 设备、SACVD设备持续获得客户验收，均实现销售收入。

多款新品首台产业化应用

上半年，公司继续保持较高水平的研发投入，研发投入约2.1 亿元，同比增长78.77%。公司不断拓展PECVD 设备工艺应用覆盖面，PECVD 通用介质薄膜材料和先进介质薄膜材料均已实现产业化应用。此外，公司也持续拓展ALD、SACVD 等设备在不同薄膜材料上的应用。新品进展顺利，公司NF-300H Astra、HDPCVD、键合Dione300 三款新品实现首台产业化应用，取得相关领域的突破性进展。公司在薄膜沉积设备领域不断巩固核心竞争力，打破海外垄断格局，未来业绩有望受益下游晶圆厂的扩产。

盈利预测、估值与评级

考虑到公司股权支付费用增加，我们预计公司2023-2025 年营业收入分别为27.35/39.77/52.32 亿元，同比增速分别为60.38%/45.38%/31.56%，归母净利润分别为4.94/8.52/11.83 亿元（原值为5.77/8.08/10.64 亿元），同比增速分别为34.11%/72.33%/38.92%，EPS 分别为3.91/6.73/9.35 元/股，3 年CAGR 为47.52%。鉴于公司国产半导体PECVD 设备龙头，参照可比公司估值，我们给予公司2024 年1.2 倍PEG，对应PE 66 倍，目标价442.19元，维持“买入”评级。

风险提示：下游客户扩产不及预期；新品验证不及预期。